大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境中存在全頻率下有多種電子噪聲源,,主要來自重型設(shè)備,、器械、能量源和顯示器,。工程師使用過許多簡單設(shè)備和技術(shù)來處置這種噪聲,,大多數(shù)實(shí)驗(yàn)室和工業(yè)環(huán)境中存在全頻率下有多種電子噪聲源,。包括使用適當(dāng)接地方法、屏蔽和絞電纜,、信號平均,、差分輸入電壓放大器和濾波器。
雖然這些方法在大多數(shù)丈量中能控制和減少噪聲,,但是一些技術(shù)只是防止噪聲進(jìn)入系統(tǒng),,而其他只是去除信號中的外來噪聲。這些方法通常只在低壓系統(tǒng)中使用不能用于高壓系統(tǒng)引起的噪聲,。
本設(shè)計方案提供了一種減少高壓引起噪聲的實(shí)用方法,。掃描式電子顯微鏡的浮動輸入為高阻抗,就像是天線一樣獲取噪聲信號,。顯微鏡的激勵需要高壓信號來驅(qū)動它壓電滑粘防噴器電動機(jī),。運(yùn)動機(jī)構(gòu)需要范圍為800V峰峰值的斜坡波形。因?yàn)檫\(yùn)動有三種程度,,所以機(jī)構(gòu)也要多個通道,。一些顯微鏡將原子力顯微鏡與光程調(diào)整的顯微鏡載片合并,這就需要更多通道,。
原則上,,每個通道需要一個高壓放大器。所以兩維的運(yùn)動需要兩個高壓放大器,,三維的需要三個高壓放大器,,以此類推,。高壓放大器價格高貴,且需要PCB板上相當(dāng)大的空間,。因此,,只使用一個轉(zhuǎn)換多通道間的高壓放大器控制多維運(yùn)動,可以節(jié)省價錢和空間,。高壓連接器管腳間有足夠空間,,防止干擾鄰近信號。但是高壓連接器昂貴,,且體積過大難以排列,。所以的選擇是使用商業(yè)RS-232規(guī)范的9/25管腳連接器。大多數(shù)商業(yè)RS-232連接器的管腳很接近,,容易接收到高壓引起的噪聲,。通過連接一個低阻抗到RS-232連接器的浮動引腳,可以解決這個問題,。
這個電路中,,三個壓電發(fā)動機(jī)PZ1PZ2和PZ3連接到RS2329T連接器的T1T5和T9管腳。電路有三個
繼電器轉(zhuǎn)換壓電發(fā)動機(jī)的高壓輸入,。通常繼電器開環(huán)節(jié)點(diǎn)連接到高壓放大器輸出,;繼電器閉環(huán)節(jié)點(diǎn)連接到三個1kΩ電阻,將高壓引起的噪聲旁路到地,。